日本NIKON尼康 CNC视频图象坐标测量仪
NEXIV VMR-K3040ZC产品叙述:
这是一款共聚焦(Confocal)型的视频图象坐标测量仪，它能够在同一视场内，同时完成二维平面和一维高度的高精度测量。高速、高精度地检测最先进的IC封装的立体形状。
明场
共聚焦
合成效果
应用领域：
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硅片级芯片封装(二维＋高度)、MEMS、Probe Card等。
特點
領先業界之非接觸式影像/Laser量測系統
新開發之大面積高度資訊探測功能分析應用
高精度之高度量測
重複精度: 0.35um (with 3X and 2 σ)
測高速度: 1.5 sec (1 cycle time)
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物鏡選擇 |
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倍率 |
1.5x |
3x |
7.5x |
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工作距離(W.D.) |
24mm |
24mm |
5mm |
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Confocal optics (測高範圍) |
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最大測高距離 |
1mm |
1mm |
1mm |
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視野 |
8mm x 6mm |
4mm x 3mm |
1.6mm x 1.2mm |
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Z 軸重複性 (2σ) |
0.6μm |
0.35μm |
0.25μm |
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