随着大规模集成电路的发展，从无尘室中清除酸碱性气体或颗粒等气体污染物就成为一个很重要的课题。
在一个64-Mbit的集成电路处理中，设计要求微粒直径为0.25mm甚至更小。
在这里用到了化学增强光学电阻，而这种电阻产生的挥发碱颗粒，如氨质子等，会导致零件的失效。
于是，为了保证正常生产就需要将碱性颗粒的浓度保持在1mg/m3以下。
该系统为了能够高敏感度测量酸碱气体使用了扩散吸取式采样器。
该扩散吸取式采样器吸收液体中的酸碱气体后，再将其用离子色谱进行分析。
还有多通道型(16点)选配件供选择。
两种型号:CM501，主要测量碱性气体;CM502，主要测量酸性气体(氧化物、磷酸、SO2等)。
特性：
- 碱性气体的感应密度为0.01mg/m3。
- 酸性气体(氧化物、磷酸、SO2等)的感应密度同NH3。
- 应用了可靠的分析技术-离子色谱技术。
- 独特的扩散吸取式采样技术将样气中的污染物最小化。
- 最少的洗提液消耗量,一个月只需补给一次。
- 工作站时时状态变化可由曲线图表来监测。
- 可以预测过滤器寿命。
- 可测量最多16点的样气(可选)。
- CM501型符合国际安全标准SEMI S2-93A & S8-95及CE标准。
规格：
型号:无尘室气体检测器
CM501及CM502系统规格
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测量 |
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CM501; |
碱性气体(阳离子分析)和酸性气体(阴离子分析:氧化物、磷酸、SO2等) |
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CM502; |
碱性与酸性气体 |
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气体采集方法 |
扩散吸取式采样系统 |
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分析方法 |
离子色谱 |
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测量范围 |
0～50mg/m3 |
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最低检测
范围界限 |
0.01mg/m3 |
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测量周期 |
最短周期为35min、45min、60min、90min |
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测量点数 |
1～16点(可选) |
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校正 |
校正采用标准解决方案，自动校正 |
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外部联系输出 |
测量流跳跃信号、外部报警信号、外部报警重置信号 |
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